La expansión de la producción de carburo de silicio impulsa el rápido desarrollo de equipos especiales
Jul 28,2022
Los dispositivos de potencia de carburo de silicio están acelerando la penetración en los campos automotrices y otros campos de aplicación, que muestran un gran espacio de mercado y atraen a varios fabricantes para aumentar la expansión de la producción. Después de que la primera línea de 8 pulgadas de Wolfspeed se puso en producción, Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba recientemente también se ha anunciado la expansión y la nueva construcción de líneas de producción de carburo de silicio.
En comparación con las líneas tradicionales de producción de obleas de silicio, el proceso de fabricación de carburo de silicio brinda diferentes demandas sobre el equipo.
Giuseppe Arena, director del proyecto de dispositivos de energía automotriz de STMicroelectronics, dijo que debido a las propiedades físicas y químicas únicas de los materiales de banda ancha, el proceso de fabricación de carburo de silicio es bastante diferente de los dispositivos de energía basados en silicio tradicionales en el crecimiento epitaxial, la implantación de iones, la implantación, la implantación,,, y recocido a alta temperatura. Los módulos como cámaras especiales están diseñados para controlar los defectos y mejorar la productividad. También se requieren herramientas especiales en el grabado, el adelgazamiento y otros enlaces.
A medida que el proceso y el equipo maduran, algunas compañías IDM están considerando transformar la línea de producción anticuada de obleas de silicio de 6 pulgadas en una línea de producción de carburo de silicio. Los expertos de la industria estiman que solo necesita 20 millones de dólares estadounidenses de inversión para ajustar el proceso y comprar una pequeña cantidad de equipos especiales. Este tipo de transformación de la línea de producción se puede completar.
En la actualidad, la División de Trabajo y Especialización ha comenzado a aparecer en este campo, y compañías como X-FAB ya han puesto un pie en el negocio de Silicon Carbide Foundry.
CLAS-SIC, ubicado en Escocia, Reino Unido, opera una línea de producción de Foundry Silicon Carbide de 6 pulgadas. El 10-15% de la línea de producción es un equipo dedicado de carburo de silicio, y la mayor parte del equipo restante se renova de las líneas de producción de obleas de silicio. La compañía es responsable de acuerdo con Rae Hyndman, la industria del carburo de silicio también enfrenta cuellos de botella de entrega al comprar equipos de segunda mano.
El mercado de Silicon Carbide es prometedor, y también atrae a los fabricantes de equipos para aumentar la inversión en este campo. David Haynes, un experto técnico en Fanlin, dijo que el desafío común que enfrenta el equipo desarrollado para los procesos de obleas de silicio al procesar sustratos de carburo de silicio es el último. Casi transparente en las regiones visibles e infrarrojas cercanas, el módulo de detección debe optimizarse.
Otro gigante de equipos, Apliced Materials, también ha lanzado una serie de equipos especiales de carburo de silicio. Se dice que su equipo CMP diseñado para las propiedades físicas y químicas especiales del carburo de silicio reduce significativamente los defectos superficiales de las obleas de carburo de silicio, según Sally Ann Henry, directora de desarrollo comercial de Shengmei Company. Dijo que el actual mercado de equipos especiales de carburo de silicio todavía está en la etapa inicial de desarrollo, y la mayoría de las IDM siguen operando líneas de producción de 6 pulgadas. (Herramientas del puente) será muy atractivo. Dicho equipo se puede introducir primero en la línea de producción de 6 pulgadas. Debido a que está equipado con el módulo de detección más avanzado, puede adaptarse rápidamente a la futura línea de producción de 8 pulgadas después de reemplazar el accesorio, los módulos de carga y descarga. Cable.
En comparación con las líneas tradicionales de producción de obleas de silicio, el proceso de fabricación de carburo de silicio brinda diferentes demandas sobre el equipo.
Giuseppe Arena, director del proyecto de dispositivos de energía automotriz de STMicroelectronics, dijo que debido a las propiedades físicas y químicas únicas de los materiales de banda ancha, el proceso de fabricación de carburo de silicio es bastante diferente de los dispositivos de energía basados en silicio tradicionales en el crecimiento epitaxial, la implantación de iones, la implantación, la implantación,,, y recocido a alta temperatura. Los módulos como cámaras especiales están diseñados para controlar los defectos y mejorar la productividad. También se requieren herramientas especiales en el grabado, el adelgazamiento y otros enlaces.
A medida que el proceso y el equipo maduran, algunas compañías IDM están considerando transformar la línea de producción anticuada de obleas de silicio de 6 pulgadas en una línea de producción de carburo de silicio. Los expertos de la industria estiman que solo necesita 20 millones de dólares estadounidenses de inversión para ajustar el proceso y comprar una pequeña cantidad de equipos especiales. Este tipo de transformación de la línea de producción se puede completar.
En la actualidad, la División de Trabajo y Especialización ha comenzado a aparecer en este campo, y compañías como X-FAB ya han puesto un pie en el negocio de Silicon Carbide Foundry.
CLAS-SIC, ubicado en Escocia, Reino Unido, opera una línea de producción de Foundry Silicon Carbide de 6 pulgadas. El 10-15% de la línea de producción es un equipo dedicado de carburo de silicio, y la mayor parte del equipo restante se renova de las líneas de producción de obleas de silicio. La compañía es responsable de acuerdo con Rae Hyndman, la industria del carburo de silicio también enfrenta cuellos de botella de entrega al comprar equipos de segunda mano.
El mercado de Silicon Carbide es prometedor, y también atrae a los fabricantes de equipos para aumentar la inversión en este campo. David Haynes, un experto técnico en Fanlin, dijo que el desafío común que enfrenta el equipo desarrollado para los procesos de obleas de silicio al procesar sustratos de carburo de silicio es el último. Casi transparente en las regiones visibles e infrarrojas cercanas, el módulo de detección debe optimizarse.
Otro gigante de equipos, Apliced Materials, también ha lanzado una serie de equipos especiales de carburo de silicio. Se dice que su equipo CMP diseñado para las propiedades físicas y químicas especiales del carburo de silicio reduce significativamente los defectos superficiales de las obleas de carburo de silicio, según Sally Ann Henry, directora de desarrollo comercial de Shengmei Company. Dijo que el actual mercado de equipos especiales de carburo de silicio todavía está en la etapa inicial de desarrollo, y la mayoría de las IDM siguen operando líneas de producción de 6 pulgadas. (Herramientas del puente) será muy atractivo. Dicho equipo se puede introducir primero en la línea de producción de 6 pulgadas. Debido a que está equipado con el módulo de detección más avanzado, puede adaptarse rápidamente a la futura línea de producción de 8 pulgadas después de reemplazar el accesorio, los módulos de carga y descarga. Cable.